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淄博高新區(qū)：聚力創(chuàng)“芯” 智造未來
來源：未知 日期：2019-04-30 點(diǎn)擊：次
“MEMS產(chǎn)業(yè)本身就是信息產(chǎn)業(yè)的一個(gè)重要發(fā)展方向，也是傳感器和智能微系統(tǒng)行業(yè)顛覆性技術(shù)。淄博市、高新區(qū)和清華大學(xué)選擇MEMS行業(yè)進(jìn)行投資和開發(fā)，經(jīng)過幾年努力已經(jīng)開花結(jié)果。”中國(guó)工程院院士、清華大學(xué)副校長(zhǎng)尤政在接受記者采訪時(shí)表示。
MEMS是什么？它集中了當(dāng)今科技發(fā)展的諸多尖端成果，在智能化“感知”時(shí)代，MEMS以其體積小、功耗低、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，成為智能傳感的核心交互器件，廣泛應(yīng)用于國(guó)防軍事、現(xiàn)代工業(yè)、民用消費(fèi)類電子、汽車電子、可穿戴可植入醫(yī)療等領(lǐng)域，是繼微電子之后又一個(gè)對(duì)國(guó)計(jì)民生具有重要影響的顛覆性技術(shù)，也是信息化、智能化的關(guān)鍵核心技術(shù)，擁有非常廣闊的應(yīng)用前景。
高新區(qū)準(zhǔn)確捕捉到這一智能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)，與清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院成立國(guó)家高新區(qū)MEMS研究院。該研究院是微機(jī)電制造領(lǐng)域國(guó)內(nèi)首家校地共建的研究院，借助清華大學(xué)在MEMS領(lǐng)域的科研和人才優(yōu)勢(shì)，依托淄博集成電路產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和政策優(yōu)勢(shì)，共同搭建具有國(guó)際先進(jìn)水平的6英寸硅基MEMS中試代工平臺(tái)、著力打造國(guó)家級(jí)微系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化基地、引領(lǐng)國(guó)內(nèi)MEMS器件產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，實(shí)現(xiàn)電子信息產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展。
2018年3月，首屆中國(guó)(淄博)MEMS產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略高峰論壇在我市舉行。期間，高新區(qū)MEMS研究院自主研發(fā)的MEMS陀螺、加速度計(jì)、繼電器等產(chǎn)品正式下線。MEMS陀螺和MEMS加速度計(jì)，廣泛應(yīng)用于軍用和民用的慣性產(chǎn)品領(lǐng)域，例如無人機(jī)、無人艦、自動(dòng)駕駛汽車、手機(jī)以及所有可移動(dòng)設(shè)備的導(dǎo)航功能；MEMS繼電器是極其微小的開關(guān)陣列，一個(gè)小拇指的指甲上就能擺放4個(gè)，具有高靈敏度和高可靠性，在智能手機(jī)、汽車、現(xiàn)代工業(yè)等領(lǐng)域普遍使用。研究院在研的還有MEMS微探針，是原子力顯微鏡的最重要核心部件，目前國(guó)內(nèi)所有的原子力顯微鏡探針完全依賴進(jìn)口，微探針的國(guó)產(chǎn)化，將大幅降低采購成本，打破國(guó)外壟斷，實(shí)現(xiàn)又一項(xiàng)MEMS關(guān)鍵產(chǎn)品的自主研發(fā)。去年5月，高新區(qū)MEMS研究院承擔(dān)的“MEMS產(chǎn)業(yè)研究院”項(xiàng)目通過山東省科技廳、淄博市科技局、高新區(qū)科技局的聯(lián)合專家組驗(yàn)收，項(xiàng)目實(shí)施期間獲得首批市高新技術(shù)創(chuàng)新“雙十計(jì)劃”立項(xiàng)。“目前，研究院已建成國(guó)內(nèi)首家MEMS專業(yè)化中試代工平臺(tái)，可為淄博本地乃至省內(nèi)外客戶提供MEMS仿真設(shè)計(jì)、小試、中試以及代工服務(wù)。”高新區(qū)MEMS研究院科技管理部部長(zhǎng)劉通說。
記者在MEMS研究院投資組建的國(guó)有控股公司——山東博華電子科技發(fā)展有限公司的生產(chǎn)基地時(shí)看到，企業(yè)廠房面積5000平方米，分環(huán)境潔凈區(qū)、動(dòng)力區(qū)、辦公區(qū)等。潔凈面積1540平方米，百級(jí)區(qū)340平方米、千級(jí)區(qū)400平方米，萬級(jí)區(qū)800平方米，超凈規(guī)模國(guó)內(nèi)領(lǐng)先。擁有德國(guó)SUSS公司光刻機(jī)、奧德利EVG公司鍵合機(jī)、英國(guó)SPTS公司深硅刻蝕機(jī)等國(guó)際一流6英寸微納米技術(shù)制造設(shè)備，產(chǎn)品的測(cè)試環(huán)境也居國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。
山東博華電子科技發(fā)展有限公司僅是高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)園區(qū)所入駐的企業(yè)之一。整個(gè)園區(qū)占地面積523畝，計(jì)劃總投資30億元，規(guī)劃建筑面積56萬平方米。目前，同方股份有限公司、臺(tái)灣點(diǎn)晶科技有限公司、航天704所、中國(guó)兵器集團(tuán)公司、中電集團(tuán)55所、哈工大電路設(shè)計(jì)公司等多家科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)已達(dá)成入駐意向。
未來，在繼續(xù)完善MEMS中試代工平臺(tái)的基礎(chǔ)上，延伸建設(shè)MEMS設(shè)計(jì)與開發(fā)、小試與中試、封裝與測(cè)試平臺(tái)，通過淄博國(guó)家高新區(qū)MEMS研究院的技術(shù)牽引，淄博將逐步建成國(guó)家級(jí)MEMS產(chǎn)業(yè)基地、軍民融合發(fā)展示范基地、產(chǎn)學(xué)研用全產(chǎn)業(yè)鏈核心共性技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新平臺(tái)。可以預(yù)見，這一園區(qū)將打造成全球領(lǐng)先的國(guó)際化MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)集群，最終建成集研發(fā)、試驗(yàn)、檢測(cè)、生產(chǎn)、辦公、展示與交易一體的MEMS產(chǎn)業(yè)示范園。
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